7月7日—8日,在省科技厅组织专家对衡阳市真空机电设备有限公司自主研发的“节能高效真空太阳能集热管镀膜机”产品进行了实地考察、性能测试、成果鉴定,决定授予该产品 “科技成果鉴定证书”。
专家们认为:节能高效真空太阳能集热管镀膜机采用了高频逆变磁控溅射直流电源和反应溅射拐点恒电压控制仪两种新技术,使新一代真空太阳能集热管生产设备。具备创新特点:一是采用高频逆变磁控溅射直流电源,经国家授权部门检测,节能效果显著;二是采用阻抗法检测异常放电现象,能有效地控制细微放电与强异常放电,提高了使镀膜质量;三是反应溅射拐点恒电压控制仪。通过模糊控制技术能控制真空室内反应气体的流量,保证了磁控溅射电源能稳定地工作在拐点电压,使得成膜速度快、性能稳定。